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QUARTER FOUP
產品說明
先進封裝製程專用FOUP
殼體與OHT、Slot一體成形設計,靜電消散能力均勻且剛性佳
可搭配Load port、EFEM和AMHS等自動化設備傳輸
具有充氣功能
產品規格
Demension:L353.5 * W414.5 * H337 mm
Substate:panel 300*300 mm, 310*310 mm
Capacity:13pcs
Pitch:20mm
QUARTER FOUP
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